Sensor Ofet Berbasis Film Tipis untuk Deteksi Gas Beracun

Buku ini disusun berdasarkan Hasil Penelitian Hibah Bersaing, Penelitian Disertasi Doktor dan Penelitian Unggulan Perguruan Tinggi. Isi buku ini disajikan secara praktis dan lengkap sehingga dapat membantu para mahasiswa, dosen dan guru serta para praktisi industri elektronika untuk memahami fabrikasi dan aplikasi sensor gas berbasis film tipis. Penekanan dan cakupan bidang yang dibahas dalam buku ini sangat membantu dan berperan sebagai sumbangsih pemikiran dalam mendukung pemecahan permasalahan deposisi film tipis, karakterisasi dan desain struktur sensor gas berbasis film tipis dengan teknik Lithography.